- 年份
- 2018（1）
- 核心收录
- 中国科技论文与引文数据库(CSTPCD)（1）
- 北京大学中文核心期刊目录(北大核心)（1）
- 刊名
- 电子器件（1）
- 作者单位
- 北方工业大学（1）
- 语种
- 汉语（1）
- 关键词
- Al掺杂的HfO2（1）
- C-V特性（1）
- 微电子（1）
- 结晶（1）
- 退火工艺（1）
- 高k（1）
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- 作者
- 刘倩倩（1）
- 张静（1）
- 李佳帅（1）
- 杨红（1）
- 闫江（1）
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- Al掺杂HfO2高k栅介质沉积后退火工艺研究北大核心CSTPCD