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基于压阻检测的双端固支硅纳米梁谐振特性研究北大核心CSCDCSTPCD
作者：赵全斌焦继伟杨恒林梓鑫李铁张颖王跃林
发表期刊：传感技术学报 2006年5期
关键词：双端固支硅纳米梁压阻检测Ar离子轰击谐振特性
摘要：我们利用压阻检测法对双端固支硅纳米梁的谐振特性进行了研究.在(111)硅衬底上,用KOH选择性腐蚀制作出了厚度约为242 nm的双端固支硅纳米梁;对梁上表面采用Ar离子进行局部轰击,受轰击侧的原子结构遭到破坏,电导率显著下降,未受轰击侧原子结构则保持原掺杂结构,在梁厚度方向形成非对称掺杂,表现出压阻特性.利用该局部压阻,我们首次完成了对双端固支硅纳米梁的谐振特性的测量,其共振频率为400 kHz;同时,我们对获得的低Q值进行了初步讨论.
基于压阻检测的双端固支硅纳米梁谐振特性研究北大核心CSCDCSTPCD
作者：赵全斌焦继伟杨恒林梓鑫李铁张颖王跃林
发表期刊：传感技术学报 2006年5A期
关键词：双端固支硅纳米梁压阻检测Ar离子轰击谐振特性
摘要：我们利用压阻检测法对双端固支硅纳米梁的谐振特性进行了研究．在（111）硅衬底上，用KOH选择性腐蚀制作出了厚度约为242nm的双端固支硅纳米梁；对梁上表面采用Ar离子进行局部轰击，受轰击侧的原子结构遭到破坏，电导率显著下降，未受轰击侧原子结构则保持原掺杂结构，在梁厚度方向形成非对称掺杂，表现出压阻特性．利用该局部压阻，我们首次完成了对双端固支硅纳米梁的谐振特性的测量，其共振频率为400kHz；同时，我们对获得的低Q值进行了初步讨论．
Ar离子轰击高定向石墨表面结构变化的X射线光电子能谱分析北大核心CSCDCSTPCD
作者：刘黎明杨培志黄宗坦
发表期刊：新型炭材料 2007年4期
关键词：表面分析Ar离子轰击高定向裂解石墨X射线光电子能谱
摘要：用X射线光电子能谱(XPS)研究了3.0 keV Ar离子轰击高定向裂解石墨(HOPG)引起的表面结构的变化.通过对C1s、C KLL及C2s谱峰形状的定性和定量分析,表明Ar离子轰击将破坏共价π键并导致表面局域sp2杂化C键向sp3杂化C键转化.sp3/sp2之比依赖于离子轰击时间.