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年份
2003
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中国科学引文数据库(CSCD)
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刊名
材料科学与工程学报
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作者单位
清华大学
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语种
汉语
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CCSL模型
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Si衬底
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Δg平行法则
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β-FeSi2薄膜
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取向关系
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界面结构
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作者
叶飞
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张文征
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朱玉满
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条结果
β-FeSi2/Si薄膜位向关系的计算
CSCD
作者:
朱玉满
张文征
叶飞
发表期刊:
材料科学与工程学报 2003年5期
关键词:
取向关系
界面结构
Δg平行法则
CCSL模型
β-FeSi2薄膜
Si衬底
摘要:
利用从固态相变产生的沉淀相惯习面总结出的Δg平行法则,计算了β-FeSi2半导体薄膜和Si基体之间可能的择优取向关系.根据界面匹配和结构的分析,建议最优衬底基面的晶体学位向.预测的界面是一个无理面,含有原子尺度台阶,晶格间具有良好匹配关系.以该界面位向作为Si衬底的基面有可能导致高质量金属硅化物β-FeSi2薄膜的生长.