H在Pt/Si上的化学吸附对Pt/Si界面特性的影响OA北大核心CSCD

作者：徐国定;张涛

作者单位：

分类：电子信息工程

中文关键词：氢Pt／Si化学吸附金属硅化物

刊名：《半导体学报》 1992 (12)

页码/页数：750,1