UV-LIGA与微细电火花加工组合制造微细电解阵列电极OA北大核心CSCDCSTPCD
Fabrication of micro-ECM electrode array by combining UV-LIGA with micro electro-discharge machining
采用UV-LIGA与微细电火花加工组合技术制造大长径比微细阵列电极.先通过UV-LI-GA技术制作微细群孔工具电极,然后通过电火花套料加工制作大长径比微细阵列电极.选取优化的工艺参数:前烘110℃保持12 h;三步后烘50℃保持5 min、70℃保持10 min、90℃保持30min;采用谐振式电火花电源,电压200 V、峰值电流1.5 A、脉宽3.2μs、脉间6.4μs、放电间隙12μm等,制备了直径85 μm、长1.5 mm,长径比达17.6…查看全部>>
胡洋洋;朱荻;李寒松;曾永彬;明平美
南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室,南京,210016南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室,南京,210016南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室,南京,210016南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室,南京,210016南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室,南京,210016
矿业与冶金
UV-LIGA微细电火花加工微细电解加工组合加工
ultraviolet lithographie galvanoformung and abformungmicro electro-discharge machi-ningmicro-electrodemical machiningcombination machining
《东南大学学报(自然科学版)》 2010 (1)
基于磁场力驱动对流效应的微细电铸技术
106-110,5
国家自然科学基金重点资助项目(50635040)、国家自然科学基金资助项目(50805077)、江苏省自然科学基金资助项目(BK2008043)、国家高技术研究发展计划(863计划)重点资助项目(2009AA044205).
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