近太赫兹频段线性注真空器件的研究OACSTPCD
Research of near-terahertz linear-beam vacuum electronic devices
介绍了太赫兹频段真空电子器件的研究和开发进展,包括慢波结构理论、设计、模拟及优化,微加工和微组装技术,整管技术等.这些器件包括行波管、返波管、斜注管、止带振荡器及行波管谐波放大器等,高频结构以折叠波导慢波结构为主,在太赫兹返波管中则利用叶片加载波导慢波结构.器件技术包括微机电系统(MEMS)技术,微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石生长、金属化和封接技术等.最后给出W波段、G波段以及340 GHz部件和器件所达到的性能.
冯进军;蔡军;胡银富;李含雁;杜英华;唐烨;李莉莉;潘攀
北京真空电子技术研究所微波电真空器件国家重点实验室,北京100015北京真空电子技术研究所微波电真空器件国家重点实验室,北京100015北京真空电子技术研究所微波电真空器件国家重点实验室,北京100015北京真空电子技术研究所微波电真空器件国家重点实验室,北京100015北京真空电子技术研究所微波电真空器件国家重点实验室,北京100015北京真空电子技术研究所微波电真空器件国家重点实验室,北京100015北京真空电子技术研究所微波电真空器件国家重点实验室,北京100015北京真空电子技术研究所微波电真空器件国家重点实验室,北京100015
信息技术与安全科学
太赫兹行波管返波管微机电系统技术金刚石
terahertzTraveling Wave TubeBackward-Wave OscillatorMicro Electro Mechanical Systemdiamond
《太赫兹科学与电子信息学报》 2015 (5)
684-690,706,8
国家重点基础研究发展计划资助项目(No.2013CB933602)
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