应用CVD金刚石涂层工具研磨单晶蓝宝石OA北大核心CSCDCSTPCD
Lapping of sapphire wafers by CVD diamond coated tools
通过热丝化学气相沉积(HFCVD)法制备了具有球状晶结构、棱锥形晶结构和棱柱形晶结构等3种不同表面特征的化学气相沉积(CVD)金刚石涂层工具,以提高其研磨效率.通过正交实验法研究了金刚石涂层晶粒形态、载荷、工作台转速、研磨时间等4个工艺参数对蓝宝石材料去除率和表面粗糙度的影响.结果表明:金刚石涂层的晶粒形态对材料去除率和表面粗糙度影响较大;球状晶结构金刚石涂层切向力较小,棱柱形晶结构金刚石涂层切向力较大;选择棱柱形晶CVD金刚石涂层工具研磨蓝宝石…查看全部>>
卢文壮;杨斌;冯伟;杨旭;蔡文俊
南京航空航天大学机电学院,江苏南京210016江苏省精密与微细制造技术重点实验室,江苏南京210016南京航空航天大学机电学院,江苏南京210016南京航空航天大学机电学院,江苏南京210016南京航空航天大学机电学院,江苏南京210016
通用工业技术
化学气相沉积(CVD)金刚石涂层研磨蓝宝石晶粒形态
Chemical Vapor Deposition(CVD) diamond coatinglappingsapphiregrain morphology
《光学精密工程》 2016 (3)
可控磨粒织构金刚石固结工具高效抛光单晶蓝宝石曲面的基础研究
540-546,7
国家自然科学基金资助项目(No.51275230)南京航空航天大学研究生创新基地(实验室)开放基金资助项目(No.kfjj20150507),航空基金资助项目(No.20140152001)
评论