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基于LabVIEW的MEMS电容式压力传感器测试系统设计OA北大核心CSTPCD

DESIGN OF MEMS CAPACITIVE PRESSURE SENSOR TEST SYSTEM BASED ON LABVIEW

中文摘要

设计基于LabVIEW的MEMS电容式压力传感器测试系统,包括压力产生和自动控制装置部分及电容数据采集存储部分.采用NI myDAQ、标准压力传感器和高频电磁阀,结合LabVIEW的PID工具包实现压力自动控制.通过GPIB协议和MySQL数据库实现与阻抗分析仪通信和数据存储.实验结果表明,该系统满足测试需求,为传感器的制作和性能评价提供有力参考,降低了传感器测试的复杂程度,具有很高的实用价值.

郝秀春;陈忠位;李宇翔;王佳伟;何沛凌

江苏大学机械工程学院 江苏 镇江 212013江苏大学机械工程学院 江苏 镇江 212013江苏大学机械工程学院 江苏 镇江 212013江苏大学机械工程学院 江苏 镇江 212013江苏大学机械工程学院 江苏 镇江 212013

信息技术与安全科学

LabVIEWGPIBMySQLPID

《计算机应用与软件》 2020 (5)

SON构造制备及其在集成气压传感器上的应用

62-66,5

国家自然科学基金项目(51575248).

10.3969/j.issn.1000-386x.2020.05.011

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