太赫兹低损耗金刚石-无氧铜输能窗研究OACSTPCD
Study on Terahertz Low Loss Diamond-OFHC RF Window
首次开展太赫兹金刚石-无氧铜盒型输能窗研究,利用低损耗的无氧铜材料代替传统可伐合金材料,显著降低输能窗传输损耗、提高器件输出功率.为降低无氧铜与金刚石热膨胀系数严重不匹配造成的封接应力,提出一种多槽应力释放结构,将金刚石表面封接应力由 210 MPa减小至 50 MPa,小于金刚石与无氧铜组合抗拉件的平均封接强度 116.2 MPa.根据设计结果,开展金刚石-无氧铜输能窗封接试验,氦漏率≤1×10-11(Pa·m3)/s,实现了气密封接.测试金刚…查看全部>>
In order to decrease the transfer loss of RF window and improve the output power of terahertz vacuum electronic devices,dia-mond-oxygen free high conductance copper(OFHC)pill-box RF window in terahertz regime is studied for the first time.A multi-slot structure is proposed to reduce the sealing stress which is caused by the mismatch of the thermal expansion coefficient between diamond and OFHC.The simulation predicts that the multi-slot structure reduc…查看全部>>
张琳;蔡军;潘攀;冯进军
北京真空电子技术研究所微波电真空器件国家重点实验室,北京 100015北京真空电子技术研究所微波电真空器件国家重点实验室,北京 100015北京真空电子技术研究所微波电真空器件国家重点实验室,北京 100015北京真空电子技术研究所微波电真空器件国家重点实验室,北京 100015
电子信息工程
太赫兹盒型输能窗金刚石无氧铜多槽应力释放结构
terahertzpill-box RF windowdiamondoxygen free high conductance coppermulti-slot structure
《电子器件》 2024 (2)
314-318,5
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