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利用数字全息干涉术测量电路板的连续弯曲形变北大核心CSCDCSTPCD
作者：杨德兴许增奇姜宏振付永辉王骏邵兆申赵建林
发表期刊：光学精密工程 2012年8期
关键词：数字全息干涉术离轴菲涅耳全息术电路板弯曲形变
摘要：采用离轴菲涅耳数字全息干涉术实现了对电路板表面的连续弯曲形变测量.在电路板两端依次施加0.01 mm至15 mm位移载荷过程中,记录了l 501幅全息图.通过相邻两幅全息图数值重建的复振幅相位分布相减得到干涉相位差,根据相位差与离面位移的关系计算得到照明测量区域的离面位移,通过累加获得了施加1～15 mm位移载荷时电路板表面的弯曲形变测量结果.由5块相同规格电路板上照明测量区域中同一电容中心点的离面位移,计算得到测量结果的A类不确定度…查看全部>>
数字全息术用于光学元件表面缺陷形貌测量北大核心CSCDCSTPCD
作者：陈竹姜宏振刘旭陈波
发表期刊：光学精密工程 2017年3期
关键词：数字全息显微术三维形貌测量光学元件表面缺陷相位修正
摘要：利用像面数字全息显微术对光学元件表面缺陷的三维形貌测量进行了理论及实验研究.设计并搭建了相应光路系统记录全息图,采用角谱算法数值重建物光场,通过相位修正消除了系统误差引入的波前畸变,获得了经过待测光学元件表面缺陷调制的物光相位分布,并根据建立的相位分布与表面缺陷面形的关系模型计算得到缺陷三维形貌.实验以多个划痕和麻点等常见表面缺陷作为测量对象,分别获得了它们的三维形貌,以其中一条实际宽度为35μm、深度为270 nm的划痕为例,测量得…查看全部>>
划痕型缺陷对光场质量的影响北大核心CSCD
作者：任寰姜宏振刘旭刘勇杨一陈波郑万国朱日宏
发表期刊：强激光与粒子束 2014年9期
关键词：光学元件划痕型缺陷高功率激光系统分步傅里叶算法光束近场光束远场
摘要：为了研究高功率激光系统中划痕型缺陷对光场质量的影响,采用分步傅里叶算法对非线性近轴波动方程进行求解,模拟分析了不同划痕参数(长度、宽度、深度)下,元件内部、光束近场、元件后传输光场以及光束远场的光强分布情况.数值模拟结果表明:随着划痕长度、宽度或深度的增加,元件内部以及元件后传输光场的峰值强度和对比度均会相应增强;光束近场的光强对比度也会略微增大;对于光束远场的强度分布,与划痕宽度方向所对应的频谱能量会不断增强.该项研究工作可以为划痕…查看全部>>
基于滤波差分的双阈值弱划痕提取算法北大核心CSCD
作者：李晨杨甬英熊浩亮刘东谢世斌李阳白剑沈亦兵姜宏振
发表期刊：强激光与粒子束 2015年7期
关键词：弱划痕缺陷双阈值频域滤波背景差分对比度增强精密计量
摘要：高质量光学元件表面缺陷中存在一些深度较浅或者宽度较窄的划痕,在暗场成像检测中,该类划痕产生的散射光灰度值很低,甚至淹没在背景光中,很难被目视或常规机器视觉识别,造成划痕缺陷的漏检.针对该问题,以既有的疵病检测系统为基础,根据划痕灰度的等级特征,提出双阈值法分类处理划痕缺陷.在低阈值的弱划痕处理中,根据弱划痕和背景的频率特征以及空间对比度特征,设计了频域滤波及背景差分算法.通过空间域以及频率域的滤波处理,排除高频噪声以及高亮度噪声,根据…查看全部>>