- 年份
- 2005（1）
- 2003（1）
- 核心收录
- 中国科学引文数据库(CSCD)（1）
- 中国科技论文与引文数据库(CSTPCD)（1）
- 刊名
- 光学精密工程（1）
- 现代制造工程（1）
- 作者单位
- 天津大学（1）
- 语种
- 汉语（2）
- 关键词
- MEMS检测技术（2）
- MEMS（1）
- MEMS封装技术（1）
- 光电检测（1）
- 加工技术（1）
- 微机电系统（1）
- 计算机视觉检测（1）
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- 作者
- 张帅（1）
- 李智（1）
- 王向军（1）
- 贾育秦（1）
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