SOI光波导器件的研究进展OA
RECENT PROGRESS IN SOI-BASED OPTICAL WAVEGUIDE DEVICES
近年来随着SOI晶片制备技术的成熟,SOI基波导光波导器件的研究日益受到人们的重视. 介绍了弯曲波导、光耦合器、可调谐光衰减器、光调制器和光开关等常见的SOI基光波导器件的一些研究进展.
陈媛媛;杨笛;吴静珠;孙梅
北京工商大学,计算机与信息工程学院,北京,100048中央民族大学,理学院,北京,100081北京工商大学,计算机与信息工程学院,北京,100048北京工商大学,计算机与信息工程学院,北京,100048
电子信息工程
SOI光波导集成光学
《北京工商大学学报（自然科学版）》 2009 (4)
65-69,5
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