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Experimental Research of DLC Film Deposited by Filtered Vacuum Arc EvaporationOA
Diamond like carbon (DLC) films was grown successfully on silicon, titanium and high speed steel (HSS) substrate at low temperature in a filtered vacuum arc deposition system. Arc discharges were established on a graphite ca…查看全部>>
朱纪军;左敦稳;王珉;喇培清
东南大学分子电子与生物电子学实验室 南京航空航天大学机电工程学院 兰州物理化学研究所摩擦润滑开放实验室东南大学分子电子与生物电子学实验室 南京航空航天大学机电工程学院 兰州物理化学研究所摩擦润滑开放实验室东南大学分子电子与生物电子学实验室 南京航空航天大学机电工程学院 兰州物理化学研究所摩擦润滑开放实验室东南大学分子电子与生物电子学实验室 南京航空航天大学机电工程学院 兰州物理化学研究所摩擦润滑开放实验室
diamond like carbon thin film filtered vacuum arc deposition atomic force microscope
《Journal of Southeast University(English Edition)》 1999 (1)
P.39-43,5
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