离子辅助轰击能量对类金刚石薄膜性能的影响OA北大核心CSCDCSTPCD
Effect of Ion Bombardment Energy on the Properties of Diamond-like Carbon Film
研究了利用IBAD方法沉积类金刚石薄膜时,离子的辅助轰击能量对薄膜的微观结构、表面粗糙度、弹性、硬度以及摩擦系数的影响,获得了机械和摩擦性能优异的类金刚石薄膜.讨论了薄膜微观结构和性能之间的关系,分析了不同硬度测试方法的差异.
齐军;雒建斌;王静;李文治;温诗铸
清华大学,北京,100084清华大学,北京,100084清华大学,北京,100084清华大学,北京,100084清华大学,北京,100084
数理科学
类金刚石薄膜IBAD纳米硬度
《材料工程》 2000 (2)
纳米摩擦学应用基础研究
3-5,44,4
国家自然科学基金资助项目(19672034, 59735110).
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