UV-LIGA工艺制作微注塑模具型腔OA北大核心CSCDCSTPCD
Machining micro-inj ection mold cavity by UV-LIGA process
设计并制作了微注塑模具型腔.利用无背板生长法,采用 UV-LIGA套刻技术和掩膜腐蚀技术,直接在合金钢基底上制作具有微阵列结构、微注塑浇口、微排气通道、排气孔、聚合物熔体流道等结构的微注塑模具型腔.对 SU-8厚胶的光刻工艺参数进行优化,给出厚度350μm的 SU-8胶的建议工艺条件：固定边框厚度进行刮胶；梯度升温前烘,自65℃至85℃每隔5℃间歇式升温,且85℃的烘焙时间为5.5~6.0 h；紫外光接触式曝光,剂量630 mJ/cm2；85℃中…查看全部>>
A micro-inj ection mold cavity is designed and manufactured.By the method of no back plate growing technology,the micro-inj ection mold cavity with micro-array structure,micro-inj ection gate,micro-exhaust passage,exhaust vent and polymer melt flow channel is directly manufactured on an alloy steel substrate applying overlay UV-LIGA technology and mask etching technology.The optical lithography parameter of SU-8 thick photoresist is optimized and the propose…查看全部>>
马雅丽;刘文开;路学成;刘冲
军事交通学院 军事物流系，天津 300161军事交通学院 军事物流系，天津 300161军事交通学院 军事物流系，天津 300161大连理工大学 机械工程学院，辽宁 大连 116024
机械制造
UV-LIGA技术SU-8胶微细电铸微注塑模具型腔
UV-LIGA technologySU-8 photoresistmicro-electroformingmicro-inj ection mold cavity
《大连理工大学学报》 2015 (5)
478-483,6
“十一五”国家科技支撑计划资助项目(2006BAF04B13)
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