基于频闪微视觉的MEMS微运动测试系统研究OA北大核心CSTPCD
Research on Micro-Movement Test System of MEMS Based on Frequency-Flash Micro-Vision
MEMS广泛应用于智能手机、3D打印等领域,MEMS动态性能测试对故障定位,优化MEMS设计、加工工艺,降低封装成本具有重要意义.分析了MEMS微运动测试系统方案和原理,以图像处理为核心,通过计算机显微系统,引入频闪同步控制技术,构建了一套频闪微视觉MEMS动态测试系统,并以MEMS谐振器为例,激励正弦振动信号,驱动谐振器作正弦振动,对频闪微系统采集的图像序列进行观察和分析.Matlab计算仿真结果表明:该方法有效估计了谐振器的运动特性,具有较高的应用价值.
MEMS are widely applied for Smartphone,3D printing.It is important for MEMS dynamic performance test to locate faults,to optimize MEMS design and processing,and to reduce cost of packaging.The paper analyzed concept and principle of MEMS micro-movement testing system,and built frequency-flash micro-vision dynamic test system of MEMS,and the system took image processing as core,and adopted frequency-flash synchronization control technology by computer micro s…查看全部>>
龚立雄;王灿林;余海军;严超
重庆理工大学机械工程学院,重庆400054深圳市智博翼企业管理咨询有限公司,广东深圳518172重庆理工大学机械工程学院,重庆400054重庆理工大学机械工程学院,重庆400054
金属材料
微视觉MEMS图像序列中值滤波
micro-visionMEMSimage sequencesmedian filter
《重庆理工大学学报（自然科学版）》 2017 (7)
74-79,6
重庆市基础与前沿研究项目(cstc2017jcyjAX0343,cstc2016jcyjA0385,cstc2013jcyjA60002)重庆市教委科学技术研究项目(KJ11400908)
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