MEMS电磁致动机构多物理场耦合仿真与分析OACSTPCD
Multi-Physical Fields Coupling Simulation and Analysis of MEMS Electromagnetic Actuation Mechanism
为了解决电磁致动机构多物理场之间相互影响不明的问题,建立了电磁-结构多物理场耦合模型,并对微机电系统(Microelectromechanical System,MEMS)电磁致动机构的驱动特性进行了仿真研究.首先,以电压作为激励源,将磁矢势作为因变量引入,得到驱动器整体的磁场分布,实现电磁场耦合.然后通过麦克斯韦应力张量法得到滑块所受的电磁力,并作为载荷施加在滑块上进行瞬态动力学分析,实现电磁-结构场耦合,从而实现电磁致动机构的多物理场耦合仿真…查看全部>>
In order to solve the problem that the interaction between the multi-physical fields of the electromag-netic actuation mechanism is unknown,an electromagnetic-structural multi-physical fields coupling model is es-tablished,and the driving characteristics of the microelectromechanical system(MEMS)electromagnetic actua-tion mechanism are simulated.Firstly,the voltage is used as the excitation source,and the magnetic vector po-tential is introduced as the depen…查看全部>>
朱建伟;曹云;聂伟荣;席占稳
南京理工大学 机械工程学院,江苏南京 210094南京理工大学 机械工程学院,江苏南京 210094南京理工大学 机械工程学院,江苏南京 210094南京理工大学 机械工程学院,江苏南京 210094
计算机与自动化
电磁驱动MEMS多物理场驱动特性
electromagnetic driveMEMSmulti-physical fieldsdriving characteristics
《测控技术》 2024 (7)
41-47,64,8
国家自然科学基金(51805268)中央高校基本科研业务费专项资金(30920021101)
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