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- 电化学湿法腐蚀法制备硅微柱阵列北大核心CSCDCSTPCD摘要：采用TMAH(Tetramethyl Ammonium Hydroxide)腐蚀液在P(100)硅片上制备倒棱台,进而采用电化学湿法刻蚀法制备具有微柱结构的阵列器件.借鉴N型多孔硅的形成理论,提出了微柱的形成模型,分析了微柱的形成条件,并对其主要的几何结构参数之间的关系进行了探讨.结果表明微柱的形成与倒棱台的结构参数、 孔的结构参数以及空间电荷区等因素相关.倒棱台的底面尺寸决定了微柱的结构,且倒棱台开口的大小需要大于平均孔径.微柱直径…查看全部>>
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